臭氧发生器产生臭氧气体分为三种气体（气源），分别是空气源、富氧源、液氧源。富氧源和液氧源也可以成为氧气源。

   空气源臭氧发生器系统，是通过空压机将空气压缩到一定压力（常规压力0.7-0.8Mpa），经过冷干机、吸附式干燥机、高效油水分离器、三级精密过滤除油除水除尘处理之后进入储气罐，最后进过进气压力调整流入臭氧放电室。

   富氧源臭氧发生器系统，是通过空压机将空气压缩到一定压力（常规压力0.7-0.8Mpa），经过冷干机、吸附式制氧机、高效油水分离器、活性炭过滤器、三级过滤除油除水除尘处理之后进入储气罐，最后进过进气压力调整流入臭氧放电室。

   液氧源臭氧发生器系统，是将液氧站里的液态氧通过气化器气化成臭氧发生器所需的气态氧气再经过稳压装置稳压稳流之后流入臭氧放电室。

   三种不同气源流程示意图：