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经常使用的臭氧浓度单位包括重量百分比浓度wt%，和质量体积百分比浓度mg/l（g/m3）, 当臭氧浓度较低时，如空气中的臭氧浓度，也会使用体积百万分之一ppm v.，由于臭氧浓度单位数量较多，使用时经常会有混淆的现象, 下表列出了氧气源和空气源的臭氧浓度转换表供参考。
